| MEMS器件制造与集成工艺实训室-器件形貌检测及图形加工平台设备 | |
| 项目所在采购意向： | 深圳信息职业技术学院MEMS器件制造与集成工艺实训室-器件形貌检测及图形加工平台设备意向公开 |
| 采购单位： | 深圳信息职业技术学院 |
| 采购项目名称： | MEMS器件制造与集成工艺实训室-器件形貌检测及图形加工平台设备 |
| 预算金额： | ***.******万元(人民币) |
| 采购品目： | 其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况： | 加快推进学校集成电路领域的建设，助力学校争创世界一流职业院校。根据学校MEMS器件制造与集成工艺实训室建设需求，特采购一批器件形貌检测及图形加工平台设备（如微纳电路激光成型机、晶片接合对准器、实验室录播系统等），用于半导体集成电路制造工艺领域中的教学与科研。 |
| 预计采购时间： | ****-** |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
