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真空等离子体清洗机 |
*(台) |
纳恩科技 |
**-**** |
*.耐用的高品质不锈钢结构和固定装置,可调节托盘间距;*.配*路***流量计:最佳流量控制,支持各种工艺气体,如:氩气,氧,氢,氮等;*.气路控制:*路气体,支持氧气,氩气,氮气,氢气等;*.真空泵:双级旋片泵,抽速≥**/*;*.设备尺寸及设备参数:设备外观*****(*)×*****(*)×*** **(*);腔体容积:***;腔体尺寸***(*)****(*)****(*)**,*层高导电铝合金专用电极;*.功率****连续可调;*.腔体材质:进口 **** 不锈钢,军工级密封;*.控制系统:真空防呆、功率防呆、电源过热报警,工作时间可数字设定;*.人机控制:进口日本松下***加*.*寸触摸屏,直观的触摸屏,过程参数实时监控。 |
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