| 西安工业大学分子束外延（MBE）设备采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 西安工业大学****年**月政府采购意向 |
| 采购单位： | 西安工业大学 |
| 采购项目名称： | 西安工业大学分子束外延（MBE）设备采购项目 |
| 预算金额： | ***.******万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况： | 采购内容:分子束外延（MBE）设备；主要功能或目标:分子束外延系统*套 *、系统包含进样室、预处理室、外延室； *.*、进样室，真空腔室采用优质冷轧***L不锈钢制造； *.*、预处理室，真空腔室采用优质冷轧***L不锈钢制造； *.*、外延室，真空腔室采用优质冷轧***L不锈钢制造，冷阱采用优质***L不锈钢制； *、系统真空： *.*进样室配有分子泵、干泵获得真空，极限真空：≤*×**-*Torr； *.*、预处理室配有离子泵，极限真空：≤*×**-**Torr； *.*、外延室配有低温泵、离子泵、升华泵，极限真空≤*×**-**Torr； *、衬底系统： *.*、进样室配有衬底库； *.*、预处理室配有除气台； *、交接系统：交接系统用于在真空腔室中完成衬底输送。主要由手动升降机构、自动线性传递机构等组成。 *、外延室配有伸缩式可移动式束流计；检测极限≤*×**-** Torr； *、外延室配有原位高能电子衍射仪：电子枪能量范围：*-** KeV； *、外延室配有四极质谱仪：量程：*-***amu，检测极限≤*.*×**-** Torr；可远程控制，附带RGA控制与分析软件； *、P回收系统； **、UPS电源：可以满足*个Al炉、*台离子泵、*台工控机，≥*个小时的供电； **、烘烤系统：系统配备专业控制软件，烘烤温度不低于***℃，烘烤程序可控，实际控温精度为±**℃； **、电控系统主要应用于工艺编程、真空获得、源炉控制以及烘烤系统。主要由人机交互界面、底层PLC核心驱动部件、数据处理和保存部件。操作模式分为手动模式、自动模式和维护模式。电控系统控制MBE生长室工艺，实现工艺自动化控制； **、设备和软件具有安全互联互锁功能。；需满足的要求:项目建设后，设备支持：生长Ⅲ-As/P化合物半导体及其多元固溶体单晶薄膜或结构，包括GaAs衬底上生长的GaAs，AlGaAs，AlGaInAs和AlGaInP，InP衬底上生长的InP，InGaAs，AlGaInAs，和InGaAsP；生长异质结、超晶格和量子阱等结构；生长发光二极管（LED）、边发射和垂直腔（VCSEL）面发射激光器、太阳电池、光电探测器等光电器件；生长高电子迁移率晶体管（HEMT）、异质结双极晶体管等功率器件。。 |
| 预计采购时间： | ****-** |
| 备注： | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
