废气处理设备生产工艺设备：外延机、曝光机、表面清洁机、气相蒸镀机、金属蒸镀机、测厚机、线宽度测机、冷却塔、气体纯化器、高度量测机、烤箱、废气洗涤设备、终端测试机、直流测试机、空压机、排风机、风机、涂布机、显影机、紫外光烘烤机、光阻去除机、溅镀机、剥离机、晶背对位机、芯片贴合机、贴片机、反贴合机、芯片研磨机、离子植入机、快速升温机、蚀刻机、包装机等。消防设备：灭火器箱、消防器材箱、消火栓口、水泵接合器、消防水池、室外消火栓、消防柜、水带、灭火器、消防泵、消防电话插孔、消防对讲电话。劳保用品：工作帽、防静电帽、防电磁辐射帽、防尘口罩、焊接护目镜、面罩、耳塞、耳罩、防静电手套、防X射线手套、防油手套、绝缘手套、防静电鞋、防滑鞋、电绝缘鞋、防静电服、防电磁辐射服。防尘设备：吸尘罩、除尘器、集气罩、电收尘器、静电除尘器等。检测设备：表面扫描仪、氦气测漏仪、浓度监控器、温度控制器、光学表面分析仪、光谱仪、浓度测量仪、阻抗扫描仪、射频测试系统、电子显微镜、电流表、电压表、流量计、温度计。电气设备：变压器、接地变、站用变、小电阻成套装置、消弧线圈成套、电话总机、电话分机、配电箱、断路器、电缆、接口柜、对讲机、防静电装置、避雷装置、防爆电器、静电缓冲器、接线箱、熔断器、漏电保护装置、火灾报警器、高低压配电柜、调度交换机、变频器、不间断电源、感烟探测器、PLC控制器、开关柜。防水材料：防水材料、防水涂料、防水工程、防水建材、SBS防水卷材、防水卷材。其他材料：网络地板、防静电地板。基础建材：水泥、混凝土、土方、钢铁、螺纹钢、钢筋、钢板。由于本项目拟采购的设备比较繁多，不能一一列举，以上列出了所需的部分关键设备。