| 等离子体超高真空高温原子层沉积（ALD） | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所****年*至**月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 采购项目名称： | 等离子体超高真空高温原子层沉积（ALD） |
| 预算金额： | ***.******万元(人民币) |
| 采购品目： | A********其他电工、电子生产设备 |
| 采购需求概况： | 采购等离子体超高真空高温原子层沉积设备*台，用于实现超薄二维原子晶体材料大尺寸、大晶粒、原子层可控制备。生长样品尺寸可兼容*英寸，生长加热温度可达***℃，加热台最高加热温度可达****℃；包含*路前驱体源管路，其中*路为常温源，*路为加热源，前驱体源加热温度不低于***℃；包含热ALD和PEALD两种模式。 |
| 预计采购时间： | ****-** |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
