****年**月**日 **:** 来源： 【打印】
| 公告信息： | |||
| 采购项目名称 | 科研仪器设备电子束曝光机 | ||
| 品目 | 货物/专用设备/电工、电子专用生产设备/电子工业专用生产设备 |
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| 采购单位 | 北京量子信息科学研究院 | ||
| 行政区域 | 海淀区 | 公告时间 | ****年**月**日 **:** |
| 评审专家（单一来源采购人员）名单 | 景立刚（自行聘请），吴建清（自行聘请），刘丽。 | ||
| 总成交金额 | ￥****.****** 万元（人民币） | ||
| 联系人及联系方式： | |||
| 项目联系人 | 于曼 | ||
| 项目联系电话 | *********** | ||
| 采购单位 | 北京量子信息科学研究院 | ||
| 采购单位地址 | 北京市海淀区西北旺东路**号院西区*号楼 | ||
| 采购单位联系方式 | ***-******** 转 **** | ||
| 代理机构名称 | 华诚博远工程咨询有限公司 | ||
| 代理机构地址 | 北京市西城区宣武门外大街**号庄胜广场中央办公楼北翼**层 | ||
| 代理机构联系方式 | 于曼，*********** | ||
| 附件： | |||
| 附件* | 北京量子信息科学研究院科研仪器设备电子束曝光机成交结果公告.pdf | ||
| 附件* | HCZB****-***科研仪器设备电子束曝光机单一来源采购文件**-**.*.**.pdf | ||
一、项目编号：HCZB****-***（招标文件编号：HCZB****-***）
二、项目名称：科研仪器设备电子束曝光机
三、中标（成交）信息
供应商名称：锐时科技（北京）有限公司
供应商地址：北京市东城区北三环东路**号*号楼*层A***房间
中标（成交）金额：****.*******（万元）
四、主要标的信息
| 序号 | 供应商名称 | 货物名称 | 货物品牌 | 货物型号 | 货物数量 | 货物单价(元) |
| * | 锐时科技（北京）有限公司 | 主机和标准附件 | Raith | VOYAGER Max | *台 | ********.** |
五、评审专家（单一来源采购人员）名单：
景立刚（自行聘请），吴建清（自行聘请），刘丽。
六、代理服务收费标准及金额：
本项目代理费收费标准：详见本项目单一来源采购文件内关于采购代理费的相关要求。
本项目代理费总金额：*.******* 万元（人民币）
七、公告期限
自本公告发布之日起*个工作日。
八、其它补充事宜
*.采购方式：单一来源采购
*.采用单一来源采购方式的原因及说明：
电子束曝光是微纳米加工的核心技术，用于制备纳米器件并在纳米尺度下研究其量子现象，此次拟采购的电子束曝光机须满足以下参数要求：
加速电压不低于** kV；图形发生器扫描频率不低于** MHz；最小线宽≤ ** nm；*** μm写场下，拼接精度≤ ** nm，套刻精度≤ ** nm；**** μm写场下，拼接精度≤ *** nm，套刻精度≤ ** nm。
根据全球调研，国内无满足上述技术指标的类似产品，能够满足上述指标的厂家有日本的JEOL、Elionix、Crestec和德国的Raith。目前上述日本几家公司生产的产品已经对中国实施禁运，无法供货，只有德国Raith能正常供货。
锐时科技（北京）有限公司是德国Raith在中国的分公司，是在中国的唯一供货商。
综上，申请采用单一来源的采购方式，从锐时科技（北京）有限公司购置所需的*套电子束曝光机。
*.成交日期：****年*月**日
*.项目用途：北京量子信息科学研究院实验室使用。
*.名称、数量、简要技术需求如下：
序号 |
货物名称 |
数量 |
简要技术需求 |
* |
▲电子束曝光机 |
*套 |
◆*、采用肖特基热场发射电子束源，加速电压不低于** kV。 …… （详见单一来源采购文件第五章） |
注：
*.合同履行期限：收到预付款后**个月内且出口文件获批后*个月内完成供货，以后到为准。
*.服务要求：详见单一来源采购文件。
*.本公告在中国政府采购网发布。
*.由于系统原因，其他未尽事宜及公告显示内容与附件不同的，以附件为准。
九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。
*.采购人信息
名 称：北京量子信息科学研究院
地址：北京市海淀区西北旺东路**号院西区*号楼
联系方式：***-******** 转 ****
*.采购代理机构信息
名 称：华诚博远工程咨询有限公司
地 址：北京市西城区宣武门外大街**号庄胜广场中央办公楼北翼**层
联系方式：于曼，***********
*.项目联系方式
项目联系人：于曼
电 话： ***********
