| 型号：PDC-WH-SC-Cameo-*D |
规格参数：纳米芯加工装置，包含有成套PDC-MG 型等离子清洗机，纳米旋涂机，能够进行从清洗开始到旋涂整个加工程序。PDC-MG 型等离子清洗机是一款超清洗设备，采用气体作为清洗介质,在短时间内能完全彻底地清除被清洗物表面的有机污染物，其清洗能力达到分子级。它具有性价比高、性能稳定、清洗效率高、操作方便、使用成本极低、易于维护等诸多优点。技术参数:*.清洗舱规格:Ф***xL*** mm(耐热玻璃)；*.清洗舱有效容积:*.* L；*.整机输入功率:*** W；*.射频输出:*~*** W(连续可调)；*.射频频率:**.** MHz；*.数字式定时器范围:*~**.** min；*.极限真空度:** Pa；*.二路浮子流量计:*.*~*.*mi 量程，方便二种气体按比例混合；*.观察窗:观察清洗仓内辉光状态；**.常用工作气体:空气、氩气、氮气或混合气体；**.VRD-*型单相真空泵；**.旋涂机：旋涂程序:最多可存***组程序，每组**步，每个步骤可精确到*.*秒:具有快速启动、快速切换转速和转速稳定的性能，能够保证胶膜厚度的一致性和均匀性。工作台尺寸:中**~中***mm(可更换):转动度: ***~****rpm旋涂不均匀性:≤士*%;工艺时间设定:*-****sec/step;时间设置精度:*.*sec。配备聚四氟乙烯匀胶盘：*英寸、*英寸、*英寸、载玻片匀胶盘；**. BGLL-***BE型烘箱，****W加热功率，RT+**-***℃，工作室尺寸***********mm。 |
