本招标项目介质层淀积设备（SIH*+TEOS）招标人为中国电子科技集团公司第二十四研究所，招标项目资金来自自筹资金，出资比例为***%。该项目已具备招标条件，现对介质层淀积设备（SIH*+TEOS）进行国内公开招标。
*.* 招标编号：ZKX********A***
*.* 招标项目名称：介质层淀积设备（SIH*+TEOS）。
*.* 数量：*台。
*.* 主要功能要求：该设备为国产全新*寸SIH*+TEOS混源的介质淀积设备，自带SMIF（或同类装置），RFID及EAP通讯功能，配置三个PECVD TWIN Chamber（*个SIH*腔，*个TEOS腔，所有腔室均配置LH+HF组件），拥有PEOX工艺、SRO工艺、SIN工艺、SRN工艺、SION工艺、FSG工艺和USG工艺等功能，每个Chamber拥有In-situ N* plasma处理功能。
*.* 交货地点：重庆沙坪坝西永微电园西永大道**号。
*.* 交货期：合同生效后***天。
*.*投标人须为具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织，具备有效的营业执照或事业单位法人证书或其它营业登记证书。
*.*业绩要求：投标人提供本次投标同型号或同系列的设备从****年至今的任意一年的销售业绩，且一年中累计销售量至少**台；须提供设备采购合同复印件，其内容须体现合同首页及签字或盖章页（合同供货方可以是本次投标人也可以是本次所投设备制造商）、合同签订时间、合同标的物及其型号。
*.* 其它要求：本次招标接受代理商投标。投标人若为代理商，则须提供所投产品制造商的授权书。
*.*本次招标不接受联合体投标。
*.*投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格。
*.*凡有意参加投标者，请于****年**月**日至****年**月**日**时(北京时间)，登陆中招联合招标采购平台（网址：www.***trade.com.cn,注册操作咨询电话***-********）购买并下载招标文件，现场不予受理。
*.* 招标文件每套售价***元，售后不退。
*.*投标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）为****年**月**日*时**分，地点为圣荷酒店会议室（重庆市沙坪坝区西永大道**号）。
*.*逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标人将予以拒收。
本次招标公告同时在中招联合招标采购平台和中国招标投标公共服务平台上发布。
招标人名称：中国电子科技集团公司第二十四研究所
地址：重庆市沙坪坝区西永大道**号
联系人：吴先生
电话：***-********
招标代理机构：中科信工程咨询（北京）有限责任公司
地址：北京市海淀区金沟河路与采石北路十字路口东南角**号大楼
售卖联系人：李经理
电话：***-********
项目负责人：唐玲
电子邮件：**********@zonkex.com
