| 离子刻蚀显影系统 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所****年*至**月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 采购项目名称： | 离子刻蚀显影系统 |
| 预算金额： | ***.******万元(人民币) |
| 采购品目： | A********其他电工、电子生产设备 |
| 采购需求概况： | 采购离子刻蚀显影系统*套，用于真空互联的前提下探索新的纳米加工技术开发，实现真空互联干膜光刻胶显影和无掩膜图形化，避免水氧接触，完成真空器件图形化。以缓冲腔与超高真空管道互联，缓冲腔真空度≤*×**-*Pa；反应室真空度≤*×**-*Pa；至少*路气体，H*、O*、Ar、N*等气体，同时预留*路供切换其他气体，均以MFC控制流量；可实现*英寸样品刻蚀深度*** nm，不均匀性≤ ±*% |
| 预计采购时间： | ****-** |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
