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一、技术指标
★*.*二次电子像分辨率（SE）：*.*nm@**KV；*.*nm@*KV；
★*.*背散射电子像分辨率（BSE）：*.*nm@ **KV；
★*.*放大倍数：*-******倍；
*.*电子光学系统
★*.*.*电子枪：钨灯丝
*.*.*电子枪偏压：全比例自动偏压，自动灯丝状态监控（显示灯丝剩余寿命状态）
*.*.*加速电压：*.*-**kV；
*.*.*透镜：*级电磁透镜；
*.*.*物镜光阑：≥*孔可变物镜光阑；
*.*.*具有聚光镜光阑；
*.*.*电子束偏移：±**μm（WD=**mm）
*.*.*能谱工作条件：WD≤**mm，TOA=**°
★*.*.*需满足*种探测器测试功能：分别为高真空下二次电子探测器，≥四分割背散射电子探测器，低真空下二次电子探测器，STEM(扫描透射)探测器，阴极荧光探测器，X 射线能谱探测器
*.*.** 防碰撞功能配置：红外CCD探测器观测样品位置防止碰撞或具备同等可防止碰撞样品功能配置
★*.*样品台
*.*.*全自动五轴马达驱动样品台
*.*.*移动范围：X≥**mm，Y≥**mm，Z≥**mm，T=-**°-**°，R=***°
*.*.*导航视野：直径≥***mm
*.*.*最大样品尺寸：直径≥***mm
*.*.*配置导航相机
*.*真空系统
*.*.*控制方式：全自动气动阀控制
*.*.*真空规：皮拉尼规
*.*.*真空度：*.*x**-*Pa
*.*.*低真空：**-***Pa，标配压差光阑，一键切换
*.*.*真空泵：分子泵（≥***L/s），机械泵（***L/min@**Hz，***L/min@**Hz）
*.*具有图像处理功能，可自动调整亮度对比度，自动对焦，自动消像散，自动灯丝饱和，自动电子束对中，自动束流对中，自动束流亮度，自动开启等
*.*扫描模式：具有快扫，慢扫模式
★*.*配置离子溅射仪，具有全自动抽真空和全自动操作的沉积镀膜系统，用于扫描电镜（SEM）样品镀制导电膜，配置金靶材。
★*.** EDX能谱仪：有效窗口面积≥**mm* ，分析性SDD硅飘移电制冷探测器，具备元素谱图及面分布实时功能。
★二、配置
*.*主机 *套
*.*检测器具备* 种测试功能：高真空二次电子探测器（用于药包材及医疗材料表面形貌），≥四分割背散射探测器（用于药包材及医疗材料的衬度相），低真空下二次电子探测器（用于不导电药包材的直接观测），高低真空下阴极荧光探测器（用于发光医疗材料以及医疗金属材料结构问题），STEM(扫描透射)探测器（用于细菌鉴定），X 射线能谱探测器（用于药包材以及医疗材料成分以及分布）；
*.*全自动五轴马达驱动样品台*套
*.* 工作站*套
*.* 光学导航系统（导航相机） *套
*.* 旋钮板一套；轨迹球一套；涡轮分子泵一套；机械泵一套；离子溅射仪一套；金靶材一套
*.*预对中灯丝 ** 支
*.*导电胶带 *个
*.*研磨膏*瓶
*.**泵油*L
*.** 电脑及打印机
*.** 提供两年以上的备品备件（包括各种保险丝、密封圈、泵油、专用工具、样品托、金属抛光膏、导电胶带及预对中灯丝）
*.**主原厂一年质保 *套
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