为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔****〕**号）等有关规定，现将本单位****年**月至****年**月采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 落实政府采购政策情况 | 预算金额(元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| * | 低压化学气相沉积二氧化硅炉管 | 标的名称：低压化学气相沉积二氧化硅炉管 标的数量：* 主要功能或目标：低压化学气相沉积二氧化硅炉管：通过外部加热源（如电阻炉）将炉管加热至所需温度。在高温下，炉管内进行化学反应或材料处理。通过气体控制系统调节炉管内的气氛（如惰性气体或反应气体），达到对晶圆的元素掺杂、氧化、扩散等工艺。 需满足的要求：应同时满足下列至少四种工艺：HTO工艺、TEOS工艺、掺杂POLY工艺、非掺杂POLY工艺；HTO工艺下需要满足片内均匀性≤*.**% （@*mm EE）、片间均匀性≤*.**%、批间均匀性≤*.**%；TEOS工艺下需要满足片内均匀性≤*.**% （@*mm EE）、片间均匀性≤*.**%、批间均匀性≤*.**%；掺杂POLY工艺下需要满足片内均匀性≤*.**% （@*mm EE）、片间均匀性≤ | 落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品等政策情况 | **,***,***.** | ****年**月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
广东中科半导体微纳制造技术研究院
****年**月**日
您有开具电子保函的需求，可通过此链接跳转至金融服务中心办理https://gdgpo.czt.gd.gov.cn/zcdservice/zcd/guangdong/此合同可以办理合同融资贷款，如果您有办理合同融资贷款的需求，请访问此链接至金融服务中心办理业务https://gdgpo.czt.gd.gov.cn/zcdservice/zcd/guangdong/免责声明根据《政府采购信息发布管理办法》（财政部令第***号），本页面提供的政府采购信息由采购人或采购代理机构发布，由发布机构对真实性、准确性、合法性负责，广东省政府采购网对其内容概不负责，亦不承担任何法律责任。
广东中科半导体微纳制造技术研究院****年**月至****年**月政府采购意向
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为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔****〕**号）等有关规定，现将本单位****年**月至****年**月采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 落实政府采购政策情况 | 预算金额(元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| * | 低压化学气相沉积二氧化硅炉管 | 标的名称：低压化学气相沉积二氧化硅炉管 标的数量：* 主要功能或目标：低压化学气相沉积二氧化硅炉管：通过外部加热源（如电阻炉）将炉管加热至所需温度。在高温下，炉管内进行化学反应或材料处理。通过气体控制系统调节炉管内的气氛（如惰性气体或反应气体），达到对晶圆的元素掺杂、氧化、扩散等工艺。 需满足的要求：应同时满足下列至少四种工艺：HTO工艺、TEOS工艺、掺杂POLY工艺、非掺杂POLY工艺；HTO工艺下需要满足片内均匀性≤*.**% （@*mm EE）、片间均匀性≤*.**%、批间均匀性≤*.**%；TEOS工艺下需要满足片内均匀性≤*.**% （@*mm EE）、片间均匀性≤*.**%、批间均匀性≤*.**%；掺杂POLY工艺下需要满足片内均匀性≤*.**% （@*mm EE）、片间均匀性≤ | 落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品等政策情况 | **,***,***.** | ****年**月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
广东中科半导体微纳制造技术研究院
****年**月**日
