| 电子图形化设备 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所****年*至**月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 采购项目名称： | 电子图形化设备 |
| 预算金额： | ***.******万元(人民币) |
| 采购品目： | A********其他电工、电子生产设备 |
| 采购需求概况： | 采购一台电子图形化设备，用于在器件工艺中实现**nm高精度图形的制备。通过电子束轰击电子敏感材料，精确控制电子束的扫描和定位，在材料上形成图形。最小光刻线宽≤** nm；电子枪最大加速电压≥** kV；最小聚焦束斑≤* nm；套刻精度≤** nm。 |
| 预计采购时间： | ****-** |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
