****年**月**日 **:** 来源： 【打印】
| 公告信息： | |||
| 采购项目名称 | 东南大学微纳系统国际创新中心无掩膜激光直写光刻机采购 | ||
| 品目 | 货物/专用设备/专用仪器仪表/其他专用仪器仪表 |
||
| 采购单位 | 东南大学 | ||
| 行政区域 | 江苏省 | 公告时间 | ****年**月**日 **:** |
| 获取招标文件时间 | ****年**月**日至****年**月**日 每日上午:*:** 至 **:** 下午:**:** 至 **:**（北京时间，法定节假日除外） |
||
| 招标文件售价 | ￥*** | ||
| 获取招标文件的地点 | 南京市建邺区新城科技园嘉陵江东街*号综合体B*栋**层 | ||
| 开标时间 | ****年**月**日 **:** | ||
| 开标地点 | 南京市建邺区新城科技园嘉陵江东街*号综合体B*栋**层开标大厅 | ||
| 预算金额 | ￥***.******万元（人民币） | ||
| 联系人及联系方式： | |||
| 项目联系人 | 陶工/张工 | ||
| 项目联系电话 | ***-******** | ||
| 采购单位 | 东南大学 | ||
| 采购单位地址 | 南京市四牌楼*号 | ||
| 采购单位联系方式 | 微电子学院: 窦老师 *********** 实验室与设备管理处：刘老师 ***-******** | ||
| 代理机构名称 | 江苏省华采招标有限公司 | ||
| 代理机构地址 | 南京市建邺区新城科技园嘉陵江东街*号综合体B*栋**层 | ||
| 代理机构联系方式 | 陶工/张工 ***-******** | ||
| 附件： | |||
| 附件* | 付款码.png | ||
项目概况
东南大学微纳系统国际创新中心无掩膜激光直写光刻机采购 招标项目的潜在投标人应在南京市建邺区新城科技园嘉陵江东街*号综合体B*栋**层获取招标文件，并于****年**月**日 **点**分（北京时间）前递交投标文件。
一、项目基本情况
项目编号：JSHC-**********C*
项目名称：东南大学微纳系统国际创新中心无掩膜激光直写光刻机采购
预算金额：***.******* 万元（人民币）
采购需求：
东南大学微纳系统国际创新中心采购无掩膜激光直写光刻机一台（套），主要技术要求如下：
*.设备组成：*、温控防尘罩；*、高精密透镜模块及DMD模块；*、半导体激光器（Diode Laser）；*、工作平台装置；*、定位激光干涉仪；*、主机电器控制装置；*、图形转换软件及系统操作计算机；*、大理石或花岗岩机座及气浮减震装置。
*.须具备两种不同波长的光源；曝光用光源及波长：(*) ***nm Diode Laser；(*) ***nm UV Diode Laser。
*.直写速度：在***×***mm的刻写幅面下，须达到≤** min；可进行***阶灰度曝光；配置高深宽比模块，透过调整聚焦深度，以优化膜厚较厚的光刻胶侧壁粗造度；配置单元图形对准功能，对晶圆上的各个单元图形进行逐一对准，并对每个单元图形进行逐一曝光。
最大直写面积≥ ***mm x ***mm；配置背向对准功能，背向对准精度≤****nm。
合同履行期限：详见采购文件
本项目( 不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
*.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
*.落实政府采购政策需满足的资格要求：
非专门面向中小企业、监狱企业、残疾人福利性单位采购的项目。
*.本项目的特定资格要求：无
三、获取招标文件
时间：****年**月**日 至 ****年**月**日，每天上午*:**至**:**，下午**:**至**:**。（北京时间，法定节假日除外）
地点：南京市建邺区新城科技园嘉陵江东街*号综合体B*栋**层
方式：获取采购文件须提供的资料：加盖公章的授权委托书原件或扫描件、加盖公章的被委托人身份证复印件或扫描件，及汇款凭据的截图。 获取采购文件电话：***-******** 邮箱：********@***.com 附件为本公司对公支付宝付款码：（转账时请务必备注***C*+公司名称）
售价：￥***.* 元，本公告包含的招标文件售价总和
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
提交投标文件截止时间：****年**月**日 **点**分（北京时间）
开标时间：****年**月**日 **点**分（北京时间）
地点：南京市建邺区新城科技园嘉陵江东街*号综合体B*栋**层开标大厅
五、公告期限
自本公告发布之日起*个工作日。
六、其他补充事宜
凡参加投标的相关人员，应在投标截止时间前完成以下程序:
（*）所有人员必须提供苏康码的绿色健康码才能进入会场；
（*）进入开标大厅时必须佩戴口罩,不得随意走动。
七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。
*.采购人信息
名 称：东南大学
地址：南京市四牌楼*号
联系方式：微电子学院: 窦老师 *********** 实验室与设备管理处：刘老师 ***-********
*.采购代理机构信息
名 称：江苏省华采招标有限公司
地 址：南京市建邺区新城科技园嘉陵江东街*号综合体B*栋**层
联系方式：陶工/张工 ***-********
*.项目联系方式
项目联系人：陶工/张工
电 话： ***-********
