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项目预算金额*******元；最高限价：*******元。

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项目预算金额*******元；最高限价：*******元。

序号

设备名称

型号及描述

数量

单位

*

场发射扫描电子显微镜

一、运行环境

*.* 工作温度： 可以在**-**℃环境温度工作。

*.* 相对湿度：湿度小于**%RH时正常工作。

*.* 工作电压：在***V（±**%）、**Hz电压下。仪器可连续使用。

二、技术参数：

*.电子光学系统

*.*发射源：高稳定型肖特基热场发射电子枪，自动烘烤、自动启动、SmartAlign智能自动电子枪对中。

*.*分辨率：*.* nm @**kV、*.* nm@*kV 、*.* nm @***V。

*.* 电压范围：**V – **kV；最小可达每档*V连续可调。

*.* 探针电流范围：*pA – **nA，连续可调。

*.* 物镜系统

*.*.* 几何结构：**°几何结构的窄锥角物镜设计，支持较大样品的倾转观察，具备自加热功能。

*.*.* 类型：电磁/静电复合式物镜系统，可有效提升低电压成像的分辨率。

*.*.* 特点：物镜系统无磁场外露，可对磁性材料进行高分辨率成像及分析。

*.* 光路系统：具有两级聚光镜，单级物镜，构成三级交叉式电子束光路。

*.* 自动调整功能：自动电子枪对中；FLASH自动聚焦、消像散；具有聚焦补偿、动态聚焦、旋转补偿、倾斜补偿功能；DFCI自动漂移补偿帧积分。

*.* 具有自加热、自清洁功能的**孔物镜光阑，大大提高光阑使用寿命，降低后期使用成本。

*.* 配有独有灯丝对中软件，保证灯丝永远处于最佳状态，保证灯丝使用寿命，降低设备后期使用成本。

*.样品室和样品台

*.*样品室内部空间：从左至右为***mm宽的大存储空间。

*.*样品室可拓展接口数量：**个，含能谱仪接口*个（其中*个处于***°对角位置）。

*.*EDS与EBSD具有几何共面结构。

*.*EDS分析工作距离：**mm（满足X-Ray出射角**°）。

*.*样品台

*.*.*类型：五轴马达驱动全自动优中心样品台。

*.*.*样品装配方式：抽屉式拉门。

*.*.*移动范围：X=*** mm,Y=*** mm, Z=** mm,T=-**º~**º,R=n×***º 连续旋转。

*.*.*样品台具有接触报警与自动停止功能。

*.*.*多功能样品台：

（*） 多用途SEM样品安装载物台，可同时放置 ** 个标准样品座（φ**mm）。

（*）具有剖面样品台和三个预倾斜样品台。

*.*最大样品尺寸：直径不低于***mm。

*.*样品台承重：*Kg。

*.探测器系统

*.*样品室二次电子探测器ETD。

*.*镜筒内正光轴背散射电子探测器T*。

*.*镜筒内正光轴二次电子探测器T*（高分辨成像探测器）。

*.*样品室内IR-CCD红外相机（观察样品台高度）。

*.*可用于图像导航的彩色光学相机Nav-Cam+™。

*.真空系统

*.*真空泵组成：*个离子吸附泵。

*个*** l/s分子涡轮泵，*个机械泵。

*.*离子泵专用备用电源

*.* 样品室抽真空时间：≤*.*min。

*.图像处理

*.*光栅扫描：电子束驻留时间**ns至**ms/像素。

*.*智能扫描和漂移补偿：*** 帧平均或积分、线积分和平均法、隔行扫描、漂移补偿帧积分。

*.*扫描方式：正常扫描、缩小光栅、定点、线扫描、扫描旋转、倾斜校正。

*.*拍摄一次获取单帧图像最大存储分辨率：最大**k × **k像素。

*.*图像记录格式：TIFF、BMP或JPEG。

*.控制系统

*.*操作系统：Windows **。

*.*图像显示：**寸LCD显示器，最高显示分辨率****×****。

*.*支持用户自定义的GUI，可同时实时显示*幅图像。

*.*软件支持Undo和Redo功能。

*.*User Guidance（用户操作工作流）提供设备成像分析的工作流，对操作者进行使用流程指导，降低设备应用门槛。

*.*蒙太奇图像导航

*.*Maps软件可自动智能成像，设置每个样品的分析条件（放大倍率、信号等），软件控制SEM进行图像采集，并可以将采集的图像进行拼接。

*、能谱仪：探测器有效面积不低于**mm²。

*.*能量探测器：电制冷硅漂移探测器（SDD）。

*.*探测器定位：探测器由马达控制精确定位，软件可控，能够实时监测和控制采集计数率，保证不同样品的数据重复性和测试条件重复性的目的。

*.*能量分辨率：Mn Kα优于***eV，C Ka优于**eV，F Ka优于**eV。

*.*元素分析范围：至少为Be*~U**。

*.*谱峰稳定性：分辨率变化在*eV以内，**小时内峰位漂移小于*.*eV。

*.*计数率：输出最大计数率大于***,***CPS，可处理最大计数率大于*,***,***CPS。

*.*具有轻元素定量分析和修正功能，可对Be、B、C、N等进行浓度定量检测以及修正。

*.*采集界面：采用**位和**位双系统，采集界面方便简单，智能化设定参数，兼容原有EBSD数据，能实现能谱的采集与定量分析、线扫描及全息面扫描，包含常规面分布、定量面分布和快速面分布、快速智能面分布等。

*.**定性分析：具备点、线、面扫描分析功能，可自动和手动进行全谱元素谱峰识别，并具有检验重叠峰剥离准确性以及合峰效应的有效方法，能够分析夹杂和偏析等微量元素和微量相。

*.**定量分析：采用最先进的修正技术和虚拟标样数据库，系统能够自动有效修正元素之间的相互吸收，可对抛光表面或粗糙表面进行点、线和面的分析，谱峰稳定，数据重现性好，不需要多元素校准峰位。具备方便的虚拟标样分析方法，且可以得到高级的非归一化定量结果，各元素定量误差没有相互干扰，数据格式可以和电子探针等高级分析方式的数据直接对应。

*.**智能软件系统：中英文任意切换的软件界面，能谱与电镜一体化，可实现自动读取和控制电镜参数，完整的离线能谱分析软件，具备实时跟踪能力和智能定性，定量分析能力，自动漂移校正。

*.**低电压分析：在电镜低电压条件下能正常分析，*KV下可获取轻元素的定性定量信息，*KV下具备虚拟标样数据库，可实现全谱定性定量分析。

*.**系统可靠性：采用独立的图像采集处理器和波形采集处理器，各自独立封装，防止集成式设计存在的故障可能点多、更换零部件成本高的问题。

*.**计算机：原装工作站，CPU四核，主频高于* GHz，三级缓存不小于*M，内存**G，硬盘***G**，可实时备份，**” LCD显示器，可刻录DVD光驱。

*.**配有彩色激光打印机

*.**与电镜操作台一体化风格的原装进口实验台。

*．配套设备

*.*数据处理计算机一台，要求 CPU主频高于* GHz，内存大于**G，硬盘容量大于***G，可刻录DVD光驱，**” LCD显示器，操作系统采用Microsoft Windows **系统。

*.*离子溅射仪

*.*.* Cressington ***Auto全自动离子溅射仪*套

*.*.*靶材为铂金

*.*.*可镀最大样品直径大于**mm

*.*.*镀金速率大于**nm/min

*.*.*镀金颗粒小，镀层均匀

*.*电解抛光仪

*.*.*进口品牌电解抛光仪*套

*.*.*输出电压：*~***V

*.*.*输出电流：*~**A

*.*.*温度范围：室温~***，可恒温控制

*.*.*可恒流和恒压操作，负载调解率*.**%

*.*.*稳定度：电压*.**%，电压偏移*mV，电流*.*%

*.* UPS稳压保护电源*套，整机供电不低于*h，电子枪系统供电不低于***h。

*.*备用场发射灯丝系统*套（灯丝+光阑）

*.*空气压缩机*台

*.*冷却循环水机 *台

*.*带除湿功能的空调一部”

*

套

序号

设备名称

型号及描述

数量

单位

*

场发射扫描电子显微镜

一、运行环境

*.* 工作温度： 可以在**-**℃环境温度工作

*.* 相对湿度：湿度小于**%RH时正常工作

*.* 工作电压：在***V（±**%）、**Hz电压下。仪器可连续使用

二、技术参数：

*.电子光学系统

*.*发射源：高稳定型肖特基热场发射电子枪，自动烘烤、自动启动、SmartAlign智能自动电子枪对中

**.*分辨率：*.* nm @**kV、*.* nm@*kV 、*.* nm @***V

*.* 电压范围：**V – **kV；最小可达每档*V连续可调

**.* 探针电流范围：*pA – **nA，连续可调

*.* 物镜系统

*.*.* 几何结构：**°几何结构的窄锥角物镜设计，支持较大样品的倾转观察，具备自加热功能

*.*.* 类型：电磁/静电复合式物镜系统，可有效提升低电压成像的分辨率

*.*.* 特点：物镜系统无磁场外露，可对磁性材料进行高分辨率成像及分析

*.* 光路系统：具有两级聚光镜，单级物镜，构成三级交叉式电子束光路

*.* 自动调整功能：自动电子枪对中；FLASH自动聚焦、消像散；具有聚焦补偿、动态聚焦、旋转补偿、倾斜补偿功能；DFCI自动漂移补偿帧积分

*.* 具有自加热、自清洁功能的**孔物镜光阑，大大提高光阑使用寿命，降低后期使用成本

*.* 配有独有灯丝对中软件，保证灯丝永远处于最佳状态，保证灯丝使用寿命，降低设备后期使用成本

*.样品室和样品台

*.*样品室内部空间：从左至右为***mm宽的大存储空间

*.*样品室可拓展接口数量：**个，含能谱仪接口*个（其中*个处于***°对角位置）

*.*EDS与EBSD具有几何共面结构

*.*EDS分析工作距离：**mm（满足X-Ray出射角**°）

*.*样品台

*.*.*类型：五轴马达驱动全自动优中心样品台

*.*.*样品装配方式：抽屉式拉门

**.*.*移动范围：X=*** mm,Y=*** mm, Z=** mm,T=-**º~**º,R=n×***º 连续旋转

*.*.*样品台具有接触报警与自动停止功能

*.*.*多功能样品台：

① 多用途SEM样品安装载物台，可同时放置 ** 个标准样品座（φ**mm）

② 具有剖面样品台和三个预倾斜样品台

*.*最大样品尺寸：直径不低于***mm

*.*样品台承重：*Kg

*.探测器系统

*.*样品室二次电子探测器ETD

*.*镜筒内正光轴背散射电子探测器T*

*.*镜筒内正光轴二次电子探测器T*（高分辨成像探测器）

*.*样品室内IR-CCD红外相机（观察样品台高度）

**.*可用于图像导航的彩色光学相机Nav-Cam+™

*.真空系统

*.*真空泵组成：*个离子吸附泵

*个*** l/s分子涡轮泵

*个机械泵

*.*离子泵专用备用电源

*.* 样品室抽真空时间：≤*.*min

*.图像处理

*.*光栅扫描：电子束驻留时间**ns至**ms/像素

*.*智能扫描和漂移补偿：*** 帧平均或积分、线积分和平均法、隔行扫描、漂移补偿帧积分

*.*扫描方式：正常扫描、缩小光栅、定点、线扫描、扫描旋转、倾斜校正

**.*拍摄一次获取单帧图像最大存储分辨率：最大**k × **k像素

*.*图像记录格式：TIFF、BMP或JPEG

*.控制系统

*.*操作系统：Windows **

*.*图像显示：**寸LCD显示器，最高显示分辨率****×****

*.*支持用户自定义的GUI，可同时实时显示*幅图像

*.*软件支持Undo和Redo功能

*.*User Guidance（用户操作工作流）提供设备成像分析的工作流，对操作者进行使用流程指导，降低设备应用门槛

*.*蒙太奇图像导航

*.*Maps软件可自动智能成像，设置每个样品的分析条件（放大倍率、信号等），软件控制SEM进行图像采集，并可以将采集的图像进行拼接

*、能谱仪：

*.* 探测器：分析型SDD硅漂移电制冷探测器，有效面积不小于**mm^*，高分子超薄窗设计。

*.* 封闭式真空系统，无需借助SEM抽放真空。

*.* 能量分辨率：Mn Ka保证优于***eV（@计数率***,***cps）；

F Ka 保证优于**eV（@计数率***,***cps）；

C Ka 保证优于**eV（@计数率***,***cps）；

保证符合ISO *****:****标准。

*.* 元素分析范围：Be*～Cf**。

*.* 探测器可软件控制，自动伸缩。

*.* 具备元素spectrum Live实时刷新显示功能：可实时观测样品区域变化或者形态转变时，谱图spectrum的动态变化过程。

*.* 具备元素面分布Live实时刷新显示功能，可实时观测样品区域变化或者形态转变时，Mapping的动态变化过程。无需在电镜和能谱软件间切换。样品一旦停止移动，自动开启面分布图静态采集模式，得到更高清晰度的面分布图。

*.* 具备零峰修正功能，开机后无需重新修正峰位。

*.* 具有实时谱图比对功能。

*.** 线扫描分析每条线可包含高达****点，可从线扫描结果重建单点谱图。可在水平或垂直方向进行多线依次采集。

*.** 电子图像最高分辨率达*********像素；元素面分布图分辨率最高达*********像素；可在电子图像上叠加元素分布图；可从面分布图上进行点、线谱图重建。

*.** 定性分析：AutoID可自动标识谱峰，可进行谱重构。

*.** 定量分析：采用XPP定量修正技术。除完备的KLMN全谱线系外，还有**kV及*kV高低电压定量数据库。

*附件及耗材

*.* UPS稳压保护电源*套，整机供电不低于*h

*.* 随机场发射灯丝系统*套

*.* 带有除湿功能的空调*台

*.* 离子溅射仪*台

三、技术及售后服务

安装验收：卖方负责派技术员在买方确定的时间内到设备现场进行免费的安装、调试，按验收指标逐项测试至达到验收要求，出具验收报告，由用户确认签字，完成仪器验收工作。

人员培训：电镜厂家需提供初级培训、中级培训和高级培训三级培训模式：

    初级培训：安装调试完毕后，马上对用户人员进行初级培训。培训时间不少于*天，培训内容包括电镜及附件的操作、电镜及附件的日常维护、样品观测、分析、获取图象。

    中级培训：仪器运行一段时间后，针对用户使用过程中遇到的问题，由卖方专家到现场进行为期*天以上的免费培训指导。

    高级培训：如买方有操作人员变更或其他操作电镜的问题，可去卖方专门的应用培训中心，聘请国内知名材料应用分析专家亲自授课，理论结合实际。

保修期：设备自验收之日起整机保修期一年。保修期过后，免费提供应用技术支持，并提供五年内免费维护保养。在不更换硬件的条件下，软件免费升级至最新版本。

维修响应：厂家需在西安有售后服务点，在提出维修要求后，能在**小时内做出维修响应，*-*个工作日内达到用户现场。

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