| 采购单位: | 深圳医学科学院 |
| 项目名称: | 电子束蒸发系统 |
| 预算金额（元）: | *,***,***.*** |
| 采购品目: | 真空应用设备 |
| 采购需求概况: | 名称：电子束蒸发系统 主要功能：高纯度和均匀涂层:无油泵送系统具有至少*x**^-*托的基压和样品负载锁，可产生高纯度和极佳均匀性的薄膜，能够精确控制薄膜厚度，这对于多层涂料和纳米技术应用至关重要。 采购数量：*台 质量要求： *.不锈钢真空腔室和真空锁。 *.可处理最大直径达 *** 毫米的晶圆，且能够同时处理五（*）片 ** 毫米的晶圆或三（*）片 *** 毫米的晶圆。 *.配有挡板的四至六个独立的沉积源。 *.样品基板冷却功能。 *.样品晶圆真空锁。 *.无油抽气系统；本底压力至少为 *×**？？托。 服务要求： *.安装与培训调试： 供应商需提供专业的安装调试服务，提供全面的操作培训和维护培训，确保设备正常运行。 *.售后服务： 提供至少*年免费保修服务。 保修期内免费提供维修和更换服务。 提供**小时技术支持热线，快速响应故障报修。 安全要求：设备需符合相关国标电器安全标准（如CE认证）。 时限要求：合同签订后*个月内完成交货。 |
| 联系人: | 张老师 |
| 联系电话: | ****-******** |
| 预计采购时间: | ****-** |
| 备注: | 无 |
