合肥工业大学2024年11月政府采购意向-合肥工业大学低能耗电子器件制备平台建设项目

采购公告 安徽省 | 合肥市
发布时间:2024-10-08
招标单位:合肥工业大学
预算金额:261万元
项目名称:合肥工业大学低能耗电子器件制备平台建设项目
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正文内容
合肥工业大学低能耗电子器件制备平台建设项目
项目所在采购意向: 合肥工业大学****年**月政府采购意向
采购单位: 合肥工业大学
采购项目名称: 合肥工业大学低能耗电子器件制备平台建设项目
预算金额: ***.******万元(人民币)
采购品目:
A********真空应用设备
采购需求概况:
一、离子束刻蚀系统 *台,用于低维电子器件刻蚀*、极限真空度:≤*.*×**-*;*、样品台台面为钛合金材料,直径为≥***mm;样品台自转速率:*-**RPM;*、离子能量可调范围:*-****eV;*-***mA。二、手套箱*台,用于低维材料的制备*、内部尺寸长*宽*高≥************mm;*、水氧指标小于*ppm;三、光学显微镜 *台,用于二维材料与器件的制备*、放大倍数:**X-****X;*、光学系统:无限远色差校正光学系统,齐焦距离≤**mm,管镜焦距≤***mm;*、附带旋转台和位移台。四、等离子体清洗机 *台,用于二维材料与器件的制备*、PLC工控机控制整个清洗过程,手动、自动两种工作模式;*、射频频率**.**MHz,射频功率**-***W无极可调;五、真空管式退火炉系统,用于低能耗电子器件制造*、极限真空度:空载冷态*×**-*Pa;*、使用温度:****℃;温控形式:SSR智能PID可编程六、磁控溅射与反溅系统,*台*、反溅样品台:四工位样品台*套,手动旋转,带反溅清洗功能,配备射频电源同轴接口;配套射频电源*套;*、可用于制备光学薄膜、电学薄膜、磁性薄膜、硬质保护薄膜和装饰薄膜等,工艺性能稳定、模块化结构样品,可制备金属膜,金、铂、Ti和Cr等;*、腔体极限真空度:*.*×**-*Pa;七、交流磁化率测试模块,*台*、适用于直流磁化率和交流磁化率测量;*、直线电机行程范围**cm;*、灵敏度:*X**-* emu/Oe;*、Cernox ****温度计和低温加热器;*、与PPMS兼容;八、二次谐波共聚焦偏振拉曼光谱系统,*套*、正置明场显微镜;*、Omni-λ系列***mm焦距光谱仪;*、激光模组;*、显微接口光路;*、物镜;九、CCD探测器,*台****x***像元,**um像素,**x*.*mm芯片尺寸;可见近红外拉曼专用CCD,背照式深耗尽型芯片,量子效率在***nm-***nm区间处>**%;-**°深制冷十、外接激光接口,*套用于拓展外置激光器;所拓展激光器的光纤输出接口为FC;包含单模光纤准直器;十、线偏振起偏与检偏器,*套***°连续调节,绝对定位精度±*.**°,物镜下消光比≥***:*,*/*玻片波段***-***nm消色差十一、线偏振起偏器,*套电动线偏振起偏,***°连续调节,绝对定位精度±*.**°,物镜下消光比≥***:*,*/*玻波段*** - **** nm消色差十二、飞秒激光器,*台****nm±*nm,平均功率大于***mW,**MHz±*MHz,光纤输出,脉宽<***fs;含对应光路中的低通滤光片和二倍频带通滤光片。
预计采购时间: ****-**
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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