*.项目名称：ALD铪源，铝源材料
*.成交供应商名称：合肥斐冉科技有限公司
*.成交供应商地址：安徽省合肥市高新区皖水路***号中试科技园区（安徽省科学技术研究院）*号楼*层***-***
*.成交金额(币种)：(人民币)**.***万元
*.付款方式：合同签订后**个工作日之内预付合同金额的**%，货到验收合格后付合同金额**%，质保期满后**日内付**%尾款。
*.主要成交标的：
序号 |
（货物）名称 |
型号 |
制造商和产地 |
数量 |
单价(元) |
小计(元) |
* |
铪源 |
四二甲氨基铪（TDMAHf），纯度：*N |
铜陵安德科铭电子材料科技有限公司/安徽省合肥市 |
****g |
*** |
****** |
* |
铝源 |
三甲基铝（TMA），纯度：*N |
铜陵安德科铭电子材料科技有限公司/安徽省合肥市 |
***g |
** |
***** |
华中科技大学集成电路学院
****年**月**日
