| 原子层材料制备模块研制加工 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所****年*至*月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 采购项目名称： | 原子层材料制备模块研制加工 |
| 预算金额： | ***.******万元(人民币) |
| 采购品目： | C********其他自然科学研究和试验开发服务 |
| 采购需求概况： | 可以实现二维半导体大尺寸、晶圆级可控生长；多层材料的大面积、均匀可控生长；利用CVD工艺相对较高的成膜速率，实现二维半导体制造。样品尺寸*英寸，实现不同层数材料的可控（控制精度*层）生长，该模块可进行真空互联对接。 |
| 预计采购时间： | ****-** |
| 备注： |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
