| 聚焦离子束扫描电镜双束系统 | |
| 项目所在采购意向： | 厦门市计量检定测试院****年**月至****年**月政府采购意向 |
| 采购单位： | 厦门市计量检定测试院 |
| 采购项目名称： | 聚焦离子束扫描电镜双束系统 |
| 预算金额： | ****.******万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况： | 采购内容:光学计量标准器具 采购数量:*.****套 主要功能或目标:聚焦离子束扫描电镜双束系统用于金属、半导体、电介质、多层膜结构等样品制备微纳结构；高质量定点TEM样品制备；离子束刻蚀、离子束沉积、电子束沉积等。 需满足的要求:*. Ga离子束分辨率：*.* nm @ ** kV； *. Ga离子束流强度： *.* pA – ** nA； *. 电子束分辨率：在最优工作距离：*.* nm @ *kV-** kV; *.* nm @ * kV; *.* nm @*** V (非样品台减速模式状态下)；在离子束交汇点工作距离：*.*nm @**kV; *.*nm @ *kV; *.*nm@ *kV (非样品台减速模式状态下) |
| 预计采购时间： | ****-** |
| 备注： | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
