序号

采购品目

技术参数及要求

数量

单位

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纳米压印光刻

机

*．技术参数

*、曝光面积：不小于* 英寸

*、曝光波长：***~***nm

*、分辨力：不大于*.*um

*、对准精度：不大于±*.*um

*、★掩模样片整体运动范围：X：优于**mm;Y:优于**mm

*、掩模尺寸：*.* 英寸、* 英寸、* 英寸、* 英寸

*、样片尺寸：直径Φ**mm- Φ***mm(各种不规则片)

*、厚度 *.*mm-*mm(可扩展为 **mm)

*、曝光方式：定时（倒计时方式）或定剂量

**、具备真空接触曝光、以及接近式曝光等功能

**、照明不均匀性：±*%（Φ***mm 范围）

**、★双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数***倍，光学+电子放大*** 倍；物镜三对：* 倍、** 倍、** 倍；目镜三对：** 倍、** 倍、** 倍

**、数字设定对准间隙和曝光间隙

**、最大焦厚：不低于***um（SU* 胶）

**、光源平行性：优于*.* º

**、曝光能量密度：>**mW/cm*,照明面温度

**、★汞灯功率：不低于***W（原装进口汞灯）

**、★具备压印模块接口，也具备接近模块接口，压印参数为：

（*）压印分辨力：不高于**nm
（*） 压力控制范围：*MPa-*.*MPa，数字设定压力大小；
（*）压印面积：不低于Φ**mm；

**、触摸屏操作，掩模光刻与纳米压印光刻操作界面独立，且可随意切换

**：打印机一台：黑白激光打印机 多功能一体机打印复印扫描功能。打印速度**页/分钟，复印速度**页/分钟。扫描分辨率****的dpi，位深**位。工作负荷：****页。处理器速度***MHz。

**.真空泵一台（无油泵）

**.空压机一台（静音泵）

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匀胶机

*、★转速设置范围: ***转/分(或更低) ～*****转/分

*、匀胶时间设置范围: *～****秒

*、转速稳定度: ±*%

*、胶的均匀性: ±*%

*、额定转速：*****rpm

*、样片托配备二个。

*、★干泵*台

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*

快速退火炉

技术参数：：

*. ★额定功率：不低于*KW

*. ★最高温度：不低于****℃

*. 连续工作：***℃（＜*小时）

*. 加热区长度：不低于***mm

*. 恒温区长度：不低于***mm

*. 控温精度：±*℃

*. 石英管尺寸：不低于φ**

*. 滑动距离：不低于***mm

*. 最大降温速率：***到***的降温速度：**min

**. 炉膛开启自动断电功能，使炉门打开后自动断电。

**. 电炉温度控制系统采用人工智能调节技术，具有PID调节、模糊控制、自整定功能，并可编制各种升降温程序。

*

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反应离子刻蚀机

*、★设备选用整体优质航空铝材精密加工制造而成，内部做特殊阳极氧化处理。腔体尺寸：不小于Φ*******mm；

*、★刻蚀电极台：电极台可自动升降，调整刻蚀距离，调节范围：**-**mm,尺寸：不低于Φ***mm；

*、 极限真空：≤*.****^-* Pa（;

*、 抽气速率：从大气抽至*.****^-*Pa时间≤**分钟;

*、 系统漏率：优于*.*****-*Pa·L/s;

*、升压率：停泵关机**小时后真空度小于*Pa;

*、 最大有效刻蚀样片尺寸：不低于Φ*英寸;

*、 *英寸内均匀性：≤±*%;

*、刻蚀速率：Si：大于等于****nm/min;

PECVD生长的SiO*：大于等于***nm/min;

**、工艺供气：不低于*路供气；

**、分子泵*台，抽速不低于***L/s，

**、★自动压力控制系统*套含进口薄膜真空计

**、★质量流量控制器：不低于*台，标定气体：至少包括氧气、氩气、SF*、CHF*；

**、自动控制系统*套，含PLC模块、工控机、显示器控制软件等；

**、 冷却水系统*套

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扩散炉

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真空烘箱

*、电源电压：***V±**V/**/**HZ

*、输入功率：****W

*、控温范围：室温+*～***℃

*、波动度：±*℃

*、达到真空度：***Pa

*、定时范围：*～***分钟

*、★容积：不低于**L

*、加热方式：套式加热

*、载物托架：不低于*块

**、★真空泵*台。

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纯水机

*. ★系统产水量(**℃)：不低于**升/小时

*. UP超纯水指标：

*. 电阻率：**.**MΩ.cm@**℃

*. ★电导率：*.***us/cm@**℃(＜*.*us/cm)

*. 重金属离子(ppb)：

*. 总有机碳(TOC)：

*. 细菌：

*. 微生物/细菌：

*. 颗粒物(>*.*μm) ：

**. RO反渗透水指标：

**. TDS(总固体溶解度,ppm)：≤进水

TDS×*%(稳定脱盐率≥**%)

**. 二价离子分离率：**%-**%（使用

新RO膜时）

**. 有机物分离率：>**%，当MW>***

Dalton

**. 颗粒和细菌分离率：>**%

**. ★自带便携式TDS测试笔。

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器件自动老化系统

*. ★单点温度稳定性：**～***℃ ±*.*℃/**h                  

*. ★最大可控升温速度：不低于***℃/min           

*.最大降温速度：不低于**℃/min   

*.器件检测电流范围：*.***-*A

*.器件检测电压范围：*.***-**V

*.采样时间：*-*ms

功能：

*.适应范围：二极管、三极管、mos管、运放等半导体器件

*.数据记录：自动

*.通信：Rs***

**.显示：老化曲线

**.器件最大尺寸：不低于*英寸

**.过程控制：程序设定

**.软件系统：自动老化控制系统（windows操作系统）

*

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通风橱

*.台面：采用国产不低于**.*mm厚实芯理化板，镶边至不低于**.*mm厚，耐酸碱、耐腐蚀、易清洗并可抑制细菌；

*.柜体：采用不低于*.*mm厚冷轧钢板制作，表面经酸洗磷化处理（注：钢板进行去油、除锈，使其表面形成一层保护膜，增大上粉率及牢固性）、环氧树脂喷涂以及烘箱高温固化；

*.内衬板：采用不低于*mm厚抗贝特板，具有防水、耐撞击和易清洗维护等特性；

*.导流板：采用不低于*mm厚抗贝特板，合理的三段可拆式导流结构，排风集中、高效，使处于不同高度的有毒气体能够迅速排放；

*.视窗:采用不低于*mm钢化玻璃；

*.地脚:采用钢制万向调整脚，具有承重性能好、防震、坚固耐用等特点；

*.开关:采用微电子触摸式开关；
*.照明:两个荧光灯管，快速启动类型，UL标准。镇流器安装在通风柜外部。照明罩内部白色，高反射的塑料材质。照明装置上面有安全玻璃面板，并且和柜体密封。照明亮度：不低于**candles。
*.标准尺寸：不低于*************（长*宽*高）

*

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实验用品柜

阻燃更衣柜

材质：铁质

*门

尺寸：****mm*****mm****mm

*人位

*

**

实验用品柜

阻燃更衣柜

材质：铁质

*门

尺寸：****mm****mm****mm

*人位

*

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实验桌椅

单桌尺寸不低于*m**.*m，

板材厚度不低于*.*cm，

每桌配办公铁质网布坐椅*把。

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药品柜

*、药品柜（试剂柜）四开门样式，上部为透明玻璃开门，下部为不透明板门。

*、上部柜内隔层为阶梯式或平板式。

*、柜体板：柜体：采用抗强酸碱耐化学药品，耐冲击磁白色PP板(原装进口)承制，焊接一体成型，厚度不低于*mm，抗强酸、化学药品，耐冲击，耐腐蚀，不生锈

*

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服务器

市场常用品牌服务器

CPU：*颗Intel Xeon Silver ****R **核**线程 主频*.*G

内存：**G ddr* ****以上

硬盘：***G+*T

显卡：RTX****-*G独显

显示器：**寸

Windows系统

满足有限元仿真应用

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柜机空调

市面常用品牌空调

一级能效；

变频冷暖；

高温自清洁；

立式柜机；

*匹 。

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黑白激光打印机

多功能一体机

无线打印复印扫描传真功能。

黑白打印速度不低于**ppm，打印分辨率不低于*******dpi。

复印速度不低于**cpm，复印分辨率：黑白不低于*******dpi；彩色不低于*******dpi。缩放范围**-***%。扫描分辨率不低于*********dpi。扫描速度：黑白不低于*ppm；彩色不低于*ppm。

wifi直连，无线直接打印功能。

*