| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| * | 物理涂层设备 | *台 | *.最大装炉负载：***kg； *.满载膜厚约*μ，每批次最短工艺时间：*h； *.该设备腔室内可容纳转架最大装载直径不小于*** mm，配有**个轴，有效涂层高度不小于*** mm，单个轴允许的最大工件直径不小于*** mm，单个轴的负载不小于** kg。满足单炉次装料（CNMG******刀片）在****片以上 *.工作环境 *.*电压:*****/***V； *.*电源线*L+N+PE(PEN)；功率***KVA，频率**/**HZ，±*%； *.*环境温度+* ℃~+**℃ *.*相对湿度﹤**% (+** ℃时) *.*允许噪音﹤**Db *.主要技术参数详见招标文件。 |
