根据广东工业大学大学城校区半导体微纳加工研发及服务平台建设项目环境影响评价文件等，按照建设项目环境影响评价审批程序的有关规定，我局拟对该项目环境影响评价文件作出审查。为体现公开、公正的原则，强化公众参与，现将该项目环境影响评价文件基本情况予以公示，公示期为 ****年**月 **日至 ****年**月**日（*个工作日），如有意见，请在公示期内来信或来电向我局反映。
联系地址：广东省广州市番禺区市桥街德胜路**号，邮编：******
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传 真：
听证告知：依据《中华人民共和国行政许可法》第四十七条的规定，自公示之日起五个工作日内建设单位及有关利害关系人可对我局拟作出的决定提出听证申请。
项目名称 |
广东工业大学大学城校区半导体微纳加工研发及服务平台建设项目 |
建设地点 |
广东广州番禺区 |
建设单位 |
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项目概况 |
广东工业大学大学城校区半导体微纳加工研发及服务平台建设项目位于广州市番禺区小谷围街道大学城外环西路***号广东工业大学大学城校区理学馆一楼南面实验区，申报内容为从事金属氧化物半导体场效应晶体管研发，年研发****片。该项目建筑面积****平方米，使用*栋*层建筑物首层的部分区域；主要设备有单片清洗系统*套、湿法刻蚀与清洗系统*套、等离子刻蚀机*台、气相刻蚀机*台、刻蚀机*台、等离子清洗机*台、去胶机*台、化学气相沉积设备*台、等离子体原子层沉积设备*台、磁控溅射机*台、脉冲激光沉积（PLD）*台、真空镀膜机*台、金属真空电子束蒸镀仪*台、纳米压印系统*台、光刻机*台、电子束曝光系统*套、全自动涂胶显影机*台、高真空蒸发镀膜系统*套、扩散炉*台、光绘机*台、空压机*台、纯水系统*套等；员工***名，内部不安排食宿。 |
环评机构 |
广州经济技术开发区怡地工程有限公司 |
主要环境影响及预防或减轻不良环境影响的对策和措施 |
（一）项目排水系统采用雨污分流。试验废水经新建污水处理设施处理后与纯水制备产生的浓水、生活污水排入校区污水管网后汇入市政集污管网，送沥滘净水厂集中处理。该项目生活污水依托所在建筑物已有生活污水排放口排放，设置试验废水排放口*个、清净下水排放口*个。 |
公众参与情况 |
