| 项目名称 | 激光溅射团簇离子源系统 | 项目编号 | XJD************* |
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| 公告开始日期 | ****-**-** **:**:** | 公告截止日期 | ****-**-** **:**:** |
| 采购单位 | 西安交通大学 | 付款方式 | 货到安装、调试、验收合格后，付全款。 |
| 签约时间要求 | 发布竞价结果后*天内签订合同 | 到货时间要求 | 发布竞价结果后*天内送达 |
| 预算总价 | ***** | 币种 | 人民币 |
| 收货地址 | 陕西省咸阳市秦都区**** | ||
| 现场踏勘 | |||
| 供应商资质要求 | 无 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 附件 |
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| 激光溅射团簇离子源系统 | *.** | 无 |
| 品牌 | 无 |
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| 型号 | 无 |
| 预算单价 | ***** |
| 规格参数 | *.溅射样品靶传统装置：二维运动，保证每次溅射均为新鲜表面；*.溅射离子源真空：**-* Pa (闲置状态)，**-* Pa (工作状态)；*.溅射离子源真空获得系统：*** L/s分子泵*套、*** L/s分子泵*套以及* L/s机械泵*套；*.达到指定真空所需时间：＜**分钟；*.真空获得系统指标：使用真空获得系统抽空，在**分钟内达到优于**-* Pa的本底真空。在脉冲进气的工况下（*个大气压力，通过*.*mm孔脉冲进气***us/**Hz）维持优于**-* Pa的系统工作压强；*.其他系统配套：包含主要腔体、铝型材支架、调整托盘、阀门、波纹管及盲板等必要组件； |
| 售后服务 | 按行业标准提供服务，质保期**个月。 |
