| 原子层沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院大连化学物理研究所****年*月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 采购项目名称： | 原子层沉积系统 |
| 预算金额： | ***.******万元(人民币) |
| 采购品目： | A********样品前处理及制备仪器 |
| 采购需求概况： | "*.复杂精确控温管气路，可同时满足* 种前驱体（高温、低温）、* 路气路（载气、反应气）*.包含* 路气路（* 路载气，* 路反应气：O*/O*）*.气路温度范围：高温*～***℃；低温：*～***℃*.气路温度控制精度：±*℃*.气体流量控制：*～***sccm*.阀门控制精度：**mS*.高温气路耐受***℃的高温" |
| 预计采购时间： | ****-** |
| 备注： |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
