| 低维材料异质集成模块研制加工 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所****年*至*月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 采购项目名称： | 低维材料异质集成模块研制加工 |
| 预算金额： | ***.******万元(人民币) |
| 采购品目： | C********其他自然科学研究和试验开发服务 |
| 采购需求概况： | 腔室真空度优于*×**-** mbar；低温解理台具备液氮制冷，样品最低温度可达到*** K；衬底载物台绕Z轴电动旋转台定位精度达到*.*°；衬底载物平台温控系统可升温至*** ℃，升降温速度最高可达* ℃/s。转移操作台 X/Y两轴电动可调位移滑台，行程> * mm，Z轴电动升降滑台，行程> * mm |
| 预计采购时间： | ****-** |
| 备注： |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
