| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 包* | *吋特征尺寸测量用扫描电子显微镜 | *台 | 详见招标文件 | |
| ReviewSEM设备 | *台 | 详见招标文件 | ||
| 包* | *吋金属刻蚀设备 | *台 | 详见招标文件 | |
| 包* | *吋钨化学机械研磨设备 | *台 | 详见招标文件 | |
| 包* | *吋浅沟槽隔离二氧化硅沉积设备 | *台 | 详见招标文件 | |
| *吋金属有机物化学气相沉积设备 | *台 | 详见招标文件 | ||
| 包* | *吋钝化层二氧化硅沉积设备 | *台 | 详见招标文件 | |
| *吋钝化层氮化硅沉积设备 | *台 | 详见招标文件 | ||
| *吋SACVD（USG&HARPUSG）膜沉积设备 | *台 | 详见招标文件 | ||
| *吋SACVD BPSG膜沉积设备 | *台 | 详见招标文件 |
