8英寸mems晶圆生产线之低温teos国际招标公告(1)
项目名称：8英寸MEMS晶圆生产线之低温TEOS项目实施地点:中国安徽省招标产品列表（主要设备）:序号
苏美达国际技术贸易 对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于****-**-**在公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。*、招标条件项目概况:设备名称：低温TEOS；数量：*台；设备原理及用途：PECVD是腔室在低压高温条件下，通入反应气体，形成等离子体，进行化学反应，在硅片表面淀积薄膜。PECVD主要用于产品中二氧化硅、氮化硅的制备。低温TEOS（***℃）机台主要用于麦克风产品的牺牲层，低温主要是为了平衡麦克风产品正反面腐蚀的速度以及防止金属层发生变化（Cr/Au扩散）。资金到位或资金来源落实情况:已到位项目已具备招标条件的说明:已具备*、招标内容招标项目编号:****-****SUMECA**/**招标项目名称:*英寸MEMS晶圆生产线之低温TEOS项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备):
| 序号 |
产品名称 |
数量 |
简要技术规格 |
备注 |
| * |
低温TEOS |
* |
晶圆尺寸：*英寸双面抛光，notch，厚度：***μm～*** μm。其他参数详见第八章 |
无 |
*、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:①投标人如为境内企业，提供企业法人营业执照或事业单位法人证书，如为境外企业提供企业注册登记证。②投标人可以是设备制造厂家，也可以是设备授权代理商，代理商需有设备原厂家的有效授权书。③投标人开户行开具的，出具日期在开标前三个月内的资信证明原件或该原件的复印件。④投标人需要具有履行合同所必需的设备技术支持和服务能力（提供相关证明材料或承诺书，承诺书格式自拟）。⑤单位负责人授权书原件。是否接受联合体投标:不接受未领购招标文件是否可以参加投标:不可以*、
未曾在
中国电力招标采购网（www.dlztb.com）上
注册会员的单位应先注册。登录成功后根据招标公告的相说明下载投标文件！
项目bout/copyright.html" style=" font-family:>联系人：李杨
传真：***-********
手机：***********
QQ:**********
微信：Li*********** 邮箱：**********@qq.com
备注：欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特网技术服务费后，查看项目业主，招标公告，中标公示等，并下载资格预审范围，资质要求，招标清单，报名申请表等。为保证您能够顺利投标，具体要求及购买标书操作流程按公告详细内容为准，以招标业主的解答为准本。
编辑：chinabidding.co
